Zur berührungsfreien sowie hochgenauen Untersuchung des Schwingverhaltens von MEMS und Mikrosystemen, der Analyse der Bauteildynamik von Feinmechanik-Komponenten sowie der Zuverlässigkeit von Elektronik bietet Polytec mit dem MSA-060 Micro System Analyzer ein kompaktes und modulares optisches Schwingungsmesssystem. Die Einstiegslösung der Micro System Analyzer Familie hilft bei der Ermittlung von Resonanzfrequenzen und Schwingungsamplituden und visualisiert die Schwingform von Proben vollflächig.

Bei Sensoren und Aktuatoren ist das Bauteilverhalten der MEMS ausschlaggebend für deren Performance. Das MSA-060 liefert wichtige Einblicke zum Verständnis und zur Optimierung und schließt damit die Lücke zwischen Design, Simulation und Fertigung.

Das MSA-060 ist für die berührungslose Schwingungsanalyse mit unterschiedlichen Vergrößerungen ausgestattet. Die leistungsstarke Datenerfassung VibSoft-PRO ergänzt das Messsystem um Referenzkanal und Signalgenerator. Der optionale xy-Tisch ermöglicht das Scannen ganzer Probenoberflächen und liefert so Echtzeit-Schwingungsdaten mit Pikometer-Auflösung auf einer erweiterten Bandbreite von DC bis 24 MHz.

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