IMS CHIPS

Institut für Mikroelektronik Stuttgart

Institut für Mikroelektronik Stuttgart

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Das 1983 gegründete Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) ist eine gemeinnützige Stiftung nach bürgerlichem Recht. Es betreibt wirtschaftsnahe Forschung auf dem Gebiet der Mikroelektronik in den Bereichen Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise, Nanostrukturierung und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Das Institut ist als Mitglied der baden-württembergischen Innovationsallianz Partner zahlreicher kleiner und mittlerer Unternehmen insbesondere in Baden-Württemberg und arbeitet mit internationalen Halbleiterunternehmen und Zulieferern zusammen. IMS CHIPS kooperiert mit der Universität Stuttgart und ist in die Lehre der Fakultäten Elektrotechnik und Maschinenbau eingebunden. Mit der Robert Bosch GmbH wird an neuartigen Produktionsverfahren zur Herstellung ultradünner Mikrochips gearbeitet. Auf dem Gebiet der Verfahrensentwicklung zur Nanostrukturierung ist das Institut führend. Das Institut betreibt einen eigenen Reinraum mit 1.000 Quadratmeter. Mit dem Vistec SB352HR steht ein Elektronstrahlschreiber der dritten Generation zur Verfügung. Damit lassen sich Strukturen kleiner 32 nm generieren.