SiC-Tech

Das Projekt SiC-Tech entwickelt robuste Mikrosensoren für den Einsatz im Abgasstrang von Verbrennungs-motoren zur Steigerung der Ressourceneffizienz und Reduktion der Umweltbelastung.

Ziele

Die Vision einer Ressourcen schonenden und schadstoffarmen Mobilität ist Treiber für das Projekt SiC-Tech. Ziel des Projektes ist die Entwicklung und Bereitstellung kostengünstiger, robuster Sensoren für den Einsatz unter rauen Umgebungs-bedingungen, die zum einen verbesserte Konzepte für Verbrennungsmotoren ermöglichen und zum anderen die zuverlässige Überwachung emissionsrelevanter Bauteile im Abgasstrang gewährleisten. Die überragenden Eigenschaften des Werkstoffs Siliziumcarbid (SiC) sollen gezielt genutzt werden, um derartige Sensoren in Mikrosystemtechnik zu geringen Kosten herzustellen. Hierfür sind die wichtigsten Schlüssel-technologien für SiC-basierte Mikrosensoren zu entwickeln. Als konkrete Realisierungen sollen im Projekt SiC-Tech Prototypen für einen direkt messenden  Brennraumdrucksensor und einen Rußpartikelsensor zur Überwachung des Dieselpartikelfilters hergestellt werden.

Quelle: Bosch

Lösungen

Result Pressure

Die grundlegenden Prozesse zur Abscheidung und Charakterisierung von amorphem und polykristallinem  Siliziumcarbid-Schichten für die Anwendung in Brennraumdruck- und Rußpartikel-Sensoren sind entwickelt.  Ein optimierter LPCVD-Reaktor für  die Abscheidung von polykristallinem SiC befindet sich im Aufbau. Die Sensordesigns sind erarbeitet und per FEM-Simulation geprüft.  Für den Brennraumdrucksensor wurden zielführende AVT-Konzepte mit hohem Kostensenkungspotenzial entwickelt. Ein Funktionsnachweis des Rußpartikelsensors ist erbracht und erfüllte die Erwartungen an die erforderliche Empfindlichkeit.